三丰轮廓仪CV-3200系列

 采用新型直式测臂检出器
CV-3200系列在Z1轴(检出器)上搭载高精度圆弧光栅尺。直
接读取测针*的圆弧轨道减少由检测机构产生的误差，
以达到高精度和高分辨力。X轴(驱动部)也搭载线性光栅
尺，全行程实现高精度的测量。
指示精度 ———————————————————————
 Z1轴(检出器) : ±(1.4+｜2H｜／100)μm H=测量高度(mm)
 X轴(驱动部) : ±(0.8+0.01L)μm*1 L=驱动长度(mm)
分辨力 ————————————————————————
 Z1轴(检出器) : 0.04μm
 X轴(驱动部) : 0.05μm

测臂安装为一键式装卸
高速移动中也能自动停止实现安全测量

测量范围:
              X轴 100mm 200mm（可选）
              Z1轴(检出器) 60mm(水平位置±30mm)
              Z2轴(立柱)移动范围 300mm 500mm 700mm 300mm 500mm 700mm（可选）

光栅尺类型： 圆弧光栅尺
分辨力 :0.04μm、
测针上/下运作 弧形移动
测量方向:向前/向后 双方向
测针方向 :向上/向下(单独测量)、
测力: 30mN (根据配重调整)、
跟踪角度: 向上77o、向下83o(根据表面粗糙度*1使用标准单切面测针)

长度基准: X轴 激光全息光栅尺
               Z2轴(立柱) ABS光栅尺
分辨力: X轴 0.05μm
            Z2轴(立柱) 1μm
驱动速度: X轴 0～80mm/s外加手动
               Z2轴(立柱) 0～30mm/s外加手动
测量速度 :X轴 0.02～20mm/s
直线度*2: X轴 0.8μm/100mm 2μm/200mm
倾角范围: X轴 ±45°
指示精度(20℃):X轴±(0.8＋0.01L)μm L＝驱动长度(mm)
                        宽范围：1.8 μm/100mm
                        窄范围：1.05 μm/25mm
                        ±(0.8＋0.02L)μm L＝驱动长度(mm)
                        宽范围：4.8 μm/200mm
                        窄范围：1.3 μm/25mm
Z1轴(检出器) :±(1.4＋｜2H｜/100)μm H＝水平位置上的测量高度(mm)

控制箱 :221×344×490 mm
操作盒 :248×102×62.2 mm
重量: 主机 140kg 150kg 220kg 270kg 140kg 150kg 220kg 270kg
        控制箱 14kg
        操作盒 0.9kg
使用温度范围 :15～25℃(校正时和测量时的温度变化在±1o)
使用湿度范围; 20～80%RH(无凝结)
保存温度范围 :?10～50℃
保存湿度范围 :5～90%RH(无凝结)