ULTRA QV 404 ● ULTRA QV404是实现了业内良好的测量精度 E1XY=(0.25+L/1000)μm的**高精度CNC影像测量机。 ● 为了将直线度误差控制至较小,X、Y、Z 3轴移动方式采用了高精度三坐标等使用的空气轴承。 ● 标配有测量机主机温度传感器和用于测量工件温度传感器进行自动温度补偿功能。精度保证温度为19-23oC。将温度变化所产生的不确定度降低较低,以求得稳定的测量结果。 ● 根据被测物高度的变化,我们还为您准备了搭载有连续聚焦的跟踪聚焦机型,提高了测量效率。 ● 可以满足ISO10360-7:2011精度保证的要求。 系列名称 ULTRA QV 404 光学系统 PRO 跟踪自动对焦装置 (可选) 测量范围 400×400×200mm 分辨力/长度基准 0.01μm/线性编码器 倍率装置*1 可编程电动转台 1×-2×-6× 影像装置 黑白CCD 照明装置 反射照明 卤素灯 透射照明 卤素灯 程控环形照明 卤素灯 测量精度*2 E1 XY轴 (0.25+L/1000)μm E1 Z轴*3(50mm行程) (1.0+2L/1000)μm E1 Z轴(全部行程) (1.5+2L/1000)μm E2 XY平面 (0.5+2L/1000)μm 精度保证光学条件 5倍物镜 + 中倍管透镜 画面内重复精度 3σ=0.2μm 自动聚焦重复精度 σ=0.4μm 精度保证 环境温度 19~23oC 温度变化 0.5oC/1H 和 1oC/24H LAF重复精度*4 ? σ≦0.8μm 工作台玻璃尺寸 493×551mm 工件较大质量*5 40kg 主机外观尺寸 1172×1735×1910mm 主机重量 (含设置台) 2150kg 空气压力 0.4MPa*6 空气流量 300L/min(ANR) *7 温度补偿功能 自动温度补偿